



遠(yuǎn)見,于(yu)動(dòng)靜之(zhi)間,突破創新(xin)
1.Climber係(xi)列·SL200晶圓植球整線(xiàn),擁有(yǒu)三位一(yi)體(ti)的(de)晶圓印刷、中(zhong)轉上下料、植球;
2.配(pei)備(bei)高(gao)精(jīng)度UWP真空運輸(shu)結構,全程(cheng)保護Wafer進(jin)出定位精(jīng)準度;
3.實時壓力(li)閉環設(shè)計(ji)+雙驅型印刷機(jī)構,穩定控製(zhi)壓力(li)在(zai)±0.2KG,可(kě)控H/V公(gōng)差(cha):±10um,保障基闆Flux/錫膏轉移均勻一(yi)緻性;
4.最大(da)負載0.5KG中(zhong)轉機(jī)構,自動(dòng)取放料,全程(cheng)智能(néng)分(fēn)配(pei)減少破片率,Class100級潔淨度,有(yǒu)效降低異物(wù)幹擾,保障良品(pin)率;
5.自然滾動(dòng)填充式(shi)植球模塊,配(pei)備(bei)自動(dòng)填充球體(ti)+自動(dòng)回收球體(ti)機(jī)構,提升效率、降低成(cheng)本(ben);
6.兼容擴展(zhan)SECS/GEM通(tong)訊協議,可(kě)對已産(chan)數(shu)據随時追溯,讓品(pin)質(zhi)産(chan)出與數(shu)據監控無縫銜接。
全能(néng)滿足晶圓預植錫/Fllux印刷+植球整線(xiàn)工(gong)藝,廣(guang)泛應用(yong)于(yu)4-12英寸晶圓印刷、植球工(gong)藝。
| Climber係(xi)列全自動(dòng)晶圓植球整線(xiàn) | |
| 植球精(jīng)度 | ±20 |
| 植球能(néng)力(li)範圍 | ≥150um |
| 漏球率 | ≤0.01%(正常産(chan)品(pin)無翹曲) |
| 最大(da)晶圓尺寸 | 12英寸 |
| 最小(xiǎo)晶圓尺寸 | 4英寸 |
| 晶圓厚度尺寸 | 0.1~6mm |
| 鋼(gang)網框架尺寸 | 650*750mm(厚度:20-40mm) |
| 傳(chuan)輸(shu)方(fang)向 | 機(jī)械手、同進(jin)同出 |
| 定位方(fang)式(shi) | 尋邊機(jī)(中(zhong)轉機(jī)器(qi)人(ren)自帶) |
| 清(qing)洗方(fang)式(shi)(印刷) | 幹擦、濕擦、真空擦、高(gao)速(su)清(qing)洗 |
| 清(qing)洗方(fang)式(shi)(植球) | 植球幹擦+粘輪+真空吸(xi)+離子(zi)風 |
| 整線(xiàn)功率要求 | AC:220 ±10%, 50/60Hz 4KW |
| 整線(xiàn)設(shè)備(bei)尺寸 | L2855mm*W1410mm*H1495mm(不含三色燈) |
